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曆時(shí)6年的研發,荷蘭飛納公司于2018年推出哥煙了首套穩定運行的台式場發射(FEG)電鏡能譜一體機Phenom LE台式場發射電鏡能譜一體機,采用肖特基場發射電子(zǐ)槍(FEG),集背散射電子議用(zǐ)成像、二次電子(zǐ)成像和能譜分析于一體。飛納台式場發射電鏡操作簡單就輛,效率高,無需防震台和磁屏蔽,無樓層要求,隻需要一張承重200kg的桌又店子(zǐ)。
飛納台式場發射電鏡能譜一體機zhuan利腔室問區設計得(de)到*的探測角度和工(gōng)妹低作距離,顯著提高X射線的收集效率。該能譜采用穩定堅固的超薄Si3N4窗口,透過新畫率在0.26-0.6 KeV低(dī)能量範圍,是聚合物窗口的2-3倍,适合輕妹長元素檢測和低(dī)電壓能譜分析。全能量範圍平均都刀透過率比聚合物窗口高35%,進一步提高了和高能譜儀的X射線計數率。
儀器(qì)特點:
1、高分辨台式場發射電鏡:肖特基場發射電子(zǐ)源,分吃厭辨率優于2.5nm@15kV
2、zui快的場發射掃描電鏡:内置真空鎖,商愛15s抽真空,實時(shí)導航,全面跟蹤樣品
3、使用zui方便的場發射電鏡:30分鐘(z火空hōng)培訓即可上手,無需噴金(jīn)直接觀察不(bù)導電樣品
4、場發射電鏡能譜一體機:原廠集成能譜儀,B(5)-Am(95)元素探測
5、升級功能:飛納台式場發射電鏡能譜一體機可選配所有的樣品杯硬件選件,少務還可選配孔徑、顆粒、纖維統計分析測量系統工區和3D粗糙度重建等軟件選件。
Phenom LE台式場發射電鏡能譜一體機主要參數:
光學顯微鏡 | 放大(dà) 20-135 倍 |
電鏡放大(dà) | zui高 500,000 倍 |
探測器(qì) | 标配背散射電子(zǐ)、二次電子(zǐ)探測器(q月藍ì) |
燈絲材料 | 肖特基場發射電子(zǐ)源 |
分辨率 | 優于 2.5 nm@15kV |
放置環境 | 普通(tōng)實驗室或辦公室、廠房 |
加速電壓 | 2 kV-15 kV 連續可調 |
抽真空時(shí)間 | 小(xiǎo)于 15 秒 |
探測元素範圍 | B(5)- Am(95)号元素 |
能譜探測器(qì) | 矽漂移探測器(qì)(SDD) |
輸出報告 | DOCX |
冷卻方式 | 無液氮 Peltier 效應電制冷 |
X射線分析模式 | 15 kV |
能量分辨率 | <132eV(Mn Kα) |
窗口 | Si3N4 |
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